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      小型薄膜激光刻蝕機

      小型薄膜激光刻蝕設備

      適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。(1)設備型號:YLET1010MG (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。 (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。 (4)加工幅面為:100*100mm。

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      一、系統介紹激光刻蝕機

      (1)設備型號:YLET1010MG

      (2)本設備系統由三大部分組成:主機、冷水機、抽塵機。

      (3)適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。

      (4)加工幅面為:100*100mm。


              二、主要技術參數

      序號

      項目名稱

      技術參數

      1

      設備型號

      YLET1010MG

      2

      激光器

      納秒綠光激光器

      3

      波長

      532nm

      4

      功率

      5W

      5

      激光器頻率調節范圍

      30K-100KHZ

      6

      加工幅面

      100*100mm

      7

      聚焦光斑

      ≥50um(100mm幅面)

      8

      CCD抓靶精度

      ±10um

      9

      X/Y運動模組重復定位精度

      ±10um

      10

      刻蝕最小線寬

      ≥50um(100mm幅面)

      11

      最小線間隔距

      ≥50um(100mm幅面)

      12

      刻蝕速度

      <3000mm/S

      13

      主機設備尺寸

      1050*700*1660mm(L*W*H)

      14

      冷水機尺寸

      580*290*520mm(L*W*H)

      15

      抽塵機尺寸

      600*500*800mm(L*W*H)

      16

      主機設備重量

      300KG

      17

      主機額定功率

      3000W

      18

      可處理的文件格式

      標準CAD版本DXF文件


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