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適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。（1）設備型號：YLET1010MG （2）本設備系統由三大部分組成：主機、冷水機、抽塵機。 （3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。 （4）加工幅面為：100*100mm。
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一、系統介紹激光刻蝕機
（1）設備型號：YLET1010MG
（2）本設備系統由三大部分組成：主機、冷水機、抽塵機。
（3）適用柔性材料PET、玻璃等基底材料上的導電氧化物刻蝕、剝離等。
（4）加工幅面為：100*100mm。
二、主要技術參數
序號 | 項目名稱 | 技術參數 |
1 | 設備型號 | YLET1010MG |
2 | 激光器 | 納秒綠光激光器 |
3 | 波長 | 532nm |
4 | 功率 | 5W |
5 | 激光器頻率調節范圍 | 30K-100KHZ |
6 | 加工幅面 | 100*100mm |
7 | 聚焦光斑 | ≥50um（100mm幅面） |
8 | CCD抓靶精度 | ±10um |
9 | X/Y運動模組重復定位精度 | ±10um |
10 | 刻蝕最小線寬 | ≥50um（100mm幅面） |
11 | 最小線間隔距 | ≥50um（100mm幅面） |
12 | 刻蝕速度 | <3000mm/S |
13 | 主機設備尺寸 | 1050*700*1660mm(L*W*H) |
14 | 冷水機尺寸 | 580*290*520mm(L*W*H) |
15 | 抽塵機尺寸 | 600*500*800mm(L*W*H) |
16 | 主機設備重量 | 300KG |
17 | 主機額定功率 | 3000W |
18 | 可處理的文件格式 | 標準CAD版本DXF文件 |
PET上ITO刻蝕
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