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窄脈寬紅外納秒激光刻蝕機(jī)，適用于FTO、ITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸600*600mm、600*1200mm，可以滿足10*10mm到300*300mm內(nèi)的加工需求。
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采用窄脈寬紅外納秒激光器，適用于FTO、ITO、氧化鋅鍍層玻璃、薄膜激光刻蝕。設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)尺寸600*600mm、600*1200mm（同時(shí)預(yù)留出小面積300*300mm內(nèi)的小幅面加工需求）。可以滿足10*10mm到300*300mm內(nèi)的加工需求。
設(shè)備簡介
設(shè)備采用固體激光器，激光波長1064nm，適合對(duì)導(dǎo)電玻璃、薄膜進(jìn)行精細(xì)激光刻蝕；采用自主研發(fā)的控制軟件、直接導(dǎo)入CAD 數(shù)據(jù)進(jìn)行激光刻蝕，操作簡單，方便快捷；采用通過軟件實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)振鏡與直線電機(jī)、電動(dòng)升降工作臺(tái)的設(shè)計(jì)，加上真空吸附托盤裝置，能有效地解決激光刻蝕加工運(yùn)行中的平穩(wěn)性；采用獨(dú)特除塵系統(tǒng)設(shè)計(jì)，能保證玻璃、薄膜與工作平面的清潔。
設(shè)備集數(shù)控技術(shù)、激光技術(shù)、軟件技術(shù)等光機(jī)電高技術(shù)于一體，具有高靈活性、高精度、高速度等先進(jìn)制造技術(shù)的特征。可大范圍內(nèi)進(jìn)行各種圖案，各種尺寸的精密、高速刻蝕，并且能夠保證很高的產(chǎn)能，是一個(gè)可靠、穩(wěn)定和具有高性能價(jià)格比的產(chǎn)品。
適用材料
玻璃、PET基底上薄膜激光刻蝕，觸摸屏、光伏太陽能電池、電至色玻璃、其它顯示屏。可用于導(dǎo)電銀漿、ITO、FTO、氧化鋅、氧化鋯、氧化鈦、碳粉、金、銀等導(dǎo)電金屬、氧化物材料處理（只能針對(duì)單層材料激光刻蝕）。
整體說明
主要構(gòu)成：激光器、光路系統(tǒng)、工作臺(tái)、控制系統(tǒng)、 定位系統(tǒng)、 抽塵系統(tǒng)、 真吸附空系統(tǒng)等。
型號(hào) | ET650-NF 氧化鋅、ITO、FTO激光刻蝕機(jī) |
激光器 | 窄脈寬紅外納秒激光器，波長1064nm |
加工幅面 | 600*600mm/1200*600mm（可定制） |
聚焦光斑 | ≥20μm |
激光器頻率調(diào)節(jié)范圍 | 100K-500KHz |
刻蝕最小線寬 | ≥20 um（最大可以去除95%以上的氧化物鍍層） |
整機(jī)精度 | ±20μm |
最小線間距 | ≥20μm |
工作臺(tái)定位精度 | ±2um |
工作臺(tái)重復(fù)精度 | ±1um |
CCD自動(dòng)定位精度 | ±2um |
刻蝕速度 | ＜4000mm/s |
設(shè)備尺寸 | 1650mmL×1500mmW×1750mmH |
設(shè)備重量 | 1800kg |
功率消耗 | ＜3000W |
可處理文件格式 | 標(biāo)準(zhǔn)CAD DXF文件 |
注：根據(jù)實(shí)驗(yàn)室前期實(shí)驗(yàn)性階段需要，武漢元祿光電針對(duì)性開發(fā)出了實(shí)驗(yàn)室階段小型激光刻蝕機(jī)，適用于100*100mm以下導(dǎo)電玻璃激光刻蝕、劃線應(yīng)用，歡迎前來咨詢了解。
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