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滿足剛性玻璃基底表面的薄膜類太陽能電池刻蝕，采用四臺設備分別對應不同薄膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO，P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層，P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極，P4采用高功率納秒紅外做清邊。
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滿足剛性玻璃基底表面的薄膜類太陽能電池刻蝕，采用四臺設備分別對應不同薄膜電池不同功能層刻蝕需求。P1采用納秒紅外刻蝕TCO，P2采用皮秒紫外或綠光刻蝕功能層，P3采用皮秒紫外或綠光刻蝕背電極，P4采用高功率納秒紅外做清邊。
特別注明：柔性基底中試線元祿光電開發中，可電話詳細咨詢聯系！
產能高：可配備多路光束加工（可配單路），單機產能可達100MW;
精度高：采用高精度CCD定位，定位精度±15um；
可靠度高：采用特有結構，設備穩定性高；
適應性強：每一臺設備既可離線（前后需加一段接駁臺），又可在線使用，適應不同客戶的需求；
性能參數
參數 | P1紅外激光刻蝕機 | P2皮秒激光刻蝕機 | P3皮秒激光刻蝕機 | P4紅外激光刻蝕機 | |||
激光波長 | 1064/532/355nm | 355/532 nm | 355/532nm | 1064nm | |||
功率 | 30W MOPA | 15-60W | 15-60W | 100W MOPA | |||
加工頭數 | 單頭/6頭/12頭 | 單頭/6頭/12頭 | 單頭/6頭/12頭 | 單頭/雙頭 | |||
電池片尺寸 | 300*400/500*500/600*600/600*900/600*1200mm | ||||||
電機定位精度 | ±5um | ||||||
電機最高速度 | 1m/s | ||||||
最小刻蝕線寬 | 30um | 30um | 30um | 1-20mm | |||
最小公差 | ±5um | ±5um | ±5um | ±100um | |||
最小線間距 | 30um | 30um | 30um | / | |||
熱效應區 | 5um | 5um | 5um | 50um | |||
CCD定位精度 | ±10um | ±10um | ±10um | ±10um | |||
直線度 | ±20μm | ±20μm | ±20μm | ±20μm | |||
除塵率 | ≥99% | ≥99% | ≥99% | ≥99% | |||
輸送帶速度 | 20m/min（速度可調，會對節拍造成影響） | ||||||
進出料高度 | 900±20mm | ||||||
P3金電極激光刻蝕
P1 TCO FTO激光刻蝕
P1 TCO ITO激光刻蝕
鈣鈦礦刻蝕
P2鈣鈦礦激光刻蝕2
P2氧化鋯氧化鈦刻蝕
P2氧化錫鈣鈦礦刻蝕
p3碳粉激光刻蝕
P3銅電極激光刻蝕
P3銅電極激光刻蝕2
P3銀電極激光刻蝕
TCO刻蝕
溫馨提示：我公司提供“樣品免費加工”服務，您只需提交以下信息，我們會有專人與您聯系。您也可以直接來電垂詢。服務熱線:13429899098。
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