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發布時間：2018-07-03 來源：元祿光電
ITO是一種透明導電氧化物，中文名叫氧化銦錫，具有良好的透明性和導電性。通常鍍在玻璃或者PET玻璃上作為導電金屬，常見應用于觸摸屏和光伏行業中。
在LCD面板行業中ITO鍍層良好的透明性和導電性得到廣泛應用，針對LCD行業中ITO的電路形成蝕刻本文列舉以下觀點：
ITO刻蝕的方式主要分為兩種一種是化學刻蝕法，一種為激光刻蝕法。
化學ITO刻蝕法的優缺點：
優點是加工的速度快，可一次性加工大面積范圍，效率極高。
缺點在于酸，堿性蝕刻液不符合環保的要求及不夠安全，廢液，氣排出后會對周邊環境造成污染；蝕刻線良品低；蝕刻液的濃度，溫度，作用于材料表面的壓力，浸泡時間會對襯底材料的導電ITO產生影響，而且不易控制；絲印油墨本身是化工原料，對人體會有不良的影響；添加的稀釋劑屬于易燃易爆物品，造成不安全隱患。
ITO激光刻蝕的特點：
產品良品高；激光蝕刻線工藝是通過控制激光的焦點位置直接作用于被清除ITO層上，對底部襯底材料不會造成影響；激光蝕刻線的線體細，易于電路的設計并可節省材料；激光蝕刻是通過光能將ITO層瞬間氣化，不需要別的輔助材料，不會對環境或是操作工人造成不良的影響；激光蝕刻線的參數全由電腦程序控制，減少人為的操作影響；對于傳統的蝕刻工藝，ITO激光蝕刻機，體積小，占地面積小，無污染，易于設備管理；
ITO激光刻蝕流程
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